सेमीकंडक्टर के लिए उच्च तापमान एफएफकेएम ओ-रिंग एक उच्च प्रदर्शन सीलिंग समाधान है जो विशेष रूप से सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए डिज़ाइन किया गया है।
एफएफकेएम ओ-रिंग्स उच्च शुद्धता और प्लाज्मा, गर्मी और कठोर रसायनों के प्रति बेहद प्रतिरोधी हैं, जो सील के जीवन को बढ़ा सकते हैं, संदूषण को कम कर सकते हैं, वेफर उपज बढ़ा सकते हैं और उत्पादन लागत को कम कर सकते हैं।
सेमीकंडक्टर के लिए उच्च तापमान एफएफकेएम ओ-रिंग के बारे में
सेमीकंडक्टर के लिए उच्च तापमान एफएफकेएम ओ-रिंग एक उच्च प्रदर्शन सीलिंग समाधान है जो विशेष रूप से सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए डिज़ाइन किया गया है। एफएफकेएम ओ-रिंग्स उच्च शुद्धता और प्लाज्मा, गर्मी और कठोर रसायनों के प्रति बेहद प्रतिरोधी हैं, जो सील के जीवन को बढ़ा सकते हैं, संदूषण को कम कर सकते हैं, वेफर उपज बढ़ा सकते हैं और उत्पादन लागत को कम कर सकते हैं।
सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए सीलिंग समाधान (गीली प्रक्रिया)
गीली प्रक्रिया
सेमीकंडक्टर गीली प्रक्रिया में विभिन्न प्रकार के रासायनिक मीडिया और जटिल अनुप्रयोग परिदृश्य शामिल होते हैं, जबकि सावधानीपूर्वक लागत पर विचार करने की भी आवश्यकता होती है।
हाओ-ओ सीलिंग स्थिर, गतिशील और मिश्रित सीलिंग अनुप्रयोगों के लिए उत्पादों की एक श्रृंखला प्रदान करती है जो व्यापक रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करती है।
हमारे समाधान विभिन्न प्रक्रियाओं जैसे गीली नक़्क़ाशी, सीएमपी (केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग), और फोटोरेसिस्ट कोटिंग और विकास में लागू होते हैं।
| एफएफकेएम | ||||
| प्रक्रिया श्रेणी | प्रक्रिया | तापमान | परिचालन की स्थिति | सामग्री |
| गीली प्रक्रियाएँ | वेफर तैयारी | 25~125°C | एससी1, एससी2, एसपीएम, एचएफ, यूपीडीआई | PF75WX00 PF75WX20 PF75KX20 |
| सीएमपी | 25~100°C | KOH, NH3, UPDI | ||
| फोटोलिथोग्राफ़ी | 25~125°C | टीएमएएच, NaOH, H2SO4+ऑक्सीडेंट, कार्बनिक अम्ल, एनएमपी, एमाइन | ||
| अलग करना | 25~125°C | एनएमपी, विदेश मंत्रालय, एचडीएमएस, डीएमएसओ | ||
| सफाई/नक़्क़ाशी | 25~180°C | एचसीआई, एचएनओ3, एच3पीओ4, एचएफ, यूपीडीआई, एससी1, एससी2, ओ3 | ||
| तांबा चढ़ाना | 25~100°C | CuSO4,H2SO4,H2O2 | ||
सेमीकंडक्टर के लिए उच्च तापमान एफएफकेएम ओ-रिंग की मुख्य विशेषताएं
1. व्यापक तापमान रेंज: एफएफकेएम ओ-रिंग्स अत्यधिक तापमान में काम कर सकते हैं, आमतौर पर -51°F से 620°F (-46°C से 327°C) तक, कुछ फॉर्मूलेशन 300°C तक के उच्च तापमान का सामना करने में सक्षम होते हैं। यह उन्हें महत्वपूर्ण थर्मल उतार-चढ़ाव वाले अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाता है।
2. रासायनिक अनुकूलता: एफएफकेएम ओ-रिंग्स में लगभग सभी रसायनों के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध है, जिसमें 1,800 से अधिक विभिन्न रसायनों का सामना करने की क्षमता है। यह उन्हें सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में, विशेष रूप से अत्यधिक संक्षारक रासायनिक प्रसंस्करण और नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं में उत्कृष्ट प्रदर्शन करने वाला बनाता है।
3. कम आउटगैसिंग और शुद्धता: एफएफकेएम सामग्री अपने कम आउटगैसिंग गुणों के लिए जानी जाती है, जो सेमीकंडक्टर निर्माण में महत्वपूर्ण है, क्योंकि कोई भी छोटी अशुद्धता चिप बैच को बर्बाद कर सकती है। वे उच्च शुद्धता स्तर भी बनाए रखते हैं, जिससे संवेदनशील प्रक्रियाओं में अशुद्धियाँ आने का जोखिम कम हो जाता है।
4. आयामी स्थिरता: एफएफकेएम ओ-रिंग्स अत्यधिक परिस्थितियों में अपना आकार और आकार बनाए रखते हैं, जिससे दीर्घकालिक, विश्वसनीय सीलिंग प्रदर्शन सुनिश्चित होता है।
5. यांत्रिक गुण: इन ओ-रिंग्स में उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति और लचीलापन है, जो उन्हें स्थिर और गतिशील दोनों अनुप्रयोगों में प्रभावी ढंग से प्रदर्शन करने की अनुमति देता है। वे वैक्यूम स्थितियों को संभाल सकते हैं और कम घर्षण प्रदान कर सकते हैं, जो चलती भागों के लिए बहुत अच्छा है।
सेमीकंडक्टर उपकरण (थर्मल प्रक्रिया) के लिए सीलिंग समाधान
थर्मल प्रक्रिया
हाओ-ओ सीलिंग उत्पादों में एलपीसीवीडी, ऑक्सीकरण, प्रसार और आरटीपी जैसी उच्च तापमान प्रक्रियाओं में उत्कृष्ट तापमान प्रतिरोध, आउटगैसिंग प्रदर्शन शामिल है।
हमारे उत्पाद अत्यधिक तापीय परिस्थितियों में उच्च प्रदर्शन वाली रबर सामग्री के लिए ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा करते हैं।
| एफएफकेएम | ||||
| प्रक्रिया श्रेणी | प्रक्रिया | तापमान | परिचालन की स्थिति | सामग्री |
| तापीय प्रक्रियाएँ | एसएसीवीडी | 25~300°C | TEP,TEBO,TEOS,NF3,NH3,O3,O2,N2 | PF75WX40 PH75WX00 PH75TX00 |
| धातु सीवीडी और एएलडी एलपीसीवीडी | 25~300°C | कार्बनिक अग्रदूत, WF6,SiH6,TMA,DMAH,TiCl4,SiH4,HF,Cl2,SiH2Cl3,ClF3,NF3,H2O वाष्प,O2,O3 | ||
| लैम्पैनीडर आरटीपी | 150~300°C | आईआर रेडियॉन, O2, भाप | ||
| ऑक्सीकरण प्रसार | 150~300°C | N2,O2,H2O,HCI,CI2,B2H6,PH3,BBr3,POCI3 | ||
| यूवी इलाज | 150~300°C | N2,O2,O3,Ar | ||
| थर्मल-ALD | 150~300°C | TEOS,SiH4,NH3,SiF4,CF4,NF3 | ||
एफएफकेएम ओ-रिंग्स का उपयोग करने के लाभ
1. बढ़ी हुई विश्वसनीयता: एफएफकेएम ओ-रिंग्स के स्थायित्व के परिणामस्वरूप लंबे समय तक सेवा जीवन मिलता है, जो रखरखाव की जरूरतों और उपकरण डाउनटाइम को कम करता है। यह विश्वसनीयता दीर्घकालिक लागत बचत में तब्दील हो सकती है।
2. बेहतर उत्पाद गुणवत्ता: प्रक्रिया संदूषण को कम करके, ये ओ-रिंग्स उत्पाद की उपज और गुणवत्ता में सुधार करने में मदद करते हैं, जो सेमीकंडक्टर निर्माण में महत्वपूर्ण है जहां सटीकता महत्वपूर्ण है।
3. लागत प्रभावशीलता: जबकि एफएफकेएम की प्रारंभिक लागत अन्य इलास्टोमर्स की तुलना में अधिक हो सकती है, इसकी लंबी सेवा जीवन और कम रखरखाव आवश्यकताएं अक्सर कुल परिचालन लागत को कम कर सकती हैं।
सेमीकंडक्टर विनिर्माण में अनुप्रयोग
एफएफकेएम ओ-रिंग्स का उपयोग सेमीकंडक्टर उद्योग में विभिन्न महत्वपूर्ण प्रक्रियाओं में किया जाता है, जिनमें शामिल हैं:
1. रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी)।
2. नक़्क़ाशी (गीला और सूखा)।
3. केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी)।
4. स्ट्रिपिंग का विरोध करें.
5. प्लाज्मा और गैस जमाव।
ये एप्लिकेशन उन वातावरणों में एफएफकेएम ओ-रिंग्स की बहुमुखी प्रतिभा को उजागर करते हैं जो उच्च प्रदर्शन और विश्वसनीयता की मांग करते हैं।
